摘要
IGBT铜基板氧化层降低导热胶润湿。研洁真空等离子清洗设备温和还原氧化层并活化表面，散热热阻下降，功率循环寿命提升。
行业痛点
新能源逆变器IGBT模块铜基板经高温存储后氧化膜增厚，导热胶润湿不足，界面热阻升高，功率循环时芯片结温波动加大，早期失效风险上升。
技术方案
研洁真空等离子清洗设备在贴芯片前配置氩氢混合等离子体，温和还原氧化层，再切换氩氧等离子植入羟基，使导热胶润湿更充分，固化后形成低热阻界面。
处理工艺
处理温度低，保护芯片焊层；功率与气体比例可按基板尺寸调节；真空环境确保微沟槽均匀处理。
应用效果
散热热阻明显下降；功率循环寿命显著提升；模块早期失效比例下降；取消酸洗，环保与安全性同步改善。
总结提升
研洁等离子方案为IGBT模块提供高洁净、低热阻的散热前处理，助力新能源转换系统实现高效率、高可靠运行。
