通过高频电源激发气体（如氩气、氧气、氮气等），使气体分子电离形成等离子体。这些等离子体中的活性粒子与材料表面发生反应，实现清洗、改性等处理。
1、多种气体可选2.腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。
产品参数：
真空等离子处理设备 PV-5L
输入电源
220V
功率
500w
频率
50/60Hz
等离子发生器
500W/13.56MHz
工作气体
AR.H2.O2.N2(多路气体可选）
腔体尺寸
158φmm*268mm
托盘层数
1层
有效处理面积
235*120mm（L*W）
真空计
英福康 inficon
流量计
warwick 质量流量计
真空泵抽速
20m³/h
压缩空气压力
0.4~0.8Mpa
设备尺寸
650L*593W*405Hmm
重量
55KG
注意：腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。
