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商品描述

通过高频电源激发气体（如氩气、氧气、氮气等），使气体分子电离形成等离子体。这些等离子体中的活性粒子与材料表面发生反应，实现清洗、改性等处理。

1、多种气体可选2.腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。

1、多种气体可选2.腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。.

产品参数：

型号	PV-80L
输入电源/功率/频率	380V 3.5kw 50/60Hz
等离子功率	600W/13.56MHz
工作气体	AR.H2.O2.N2(多路气体可选）
气体通道	2路气体（可选配）
腔体尺寸	490340490mm（LWH内腔）
腔体容积	80L
托盘层数	8层
有效处理面积	402300mm（LW）
输入空气压力	0.4~0.8Mpa
流量范围	0-200sccm
真空泵	BSV60【油泵（可选配干泵）】
真空计	英福康 inficon/爱发科 ulvac
流量计	warwick 质量流量计
PLC/HMI	研成、汇川、台达、威纶通、工控一体机
气路元器件	亚德客、SMC
传感器	欧姆龙、松下、国产优质品牌
设备尺寸	650L593W405Hmm
注意：腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。