通过高频电源激发气体（如氩气、氧气、氮气等），使气体分子电离形成等离子体。这些等离子体中的活性粒子与材料表面发生反应，实现清洗、改性等处理。
1、多种气体可选2.腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。
通过高频电源激发气体（如氩气、氧气、氮气等），使气体分子电离形成等离子体。这些等离子体中的活性粒子与材料表面发生反应，实现清洗、改性等处理。
1、多种气体可选2.腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。.
产品参数：
型号 | PV-80L |
输入电源/功率/频率 | 380V 3.5kw 50/60Hz |
等离子发生器 | 600W/13.56MHz |
工作气体 | AR.H2.O2.N2(多路气体可选） |
气体通道 | 2路气体（可选配） |
腔体尺寸 | 490*340*490mm（L*W*H内腔） |
腔体容积 | 80L |
托盘层数 | 8层 |
有效处理面积 | 402*300mm（L*W） |
真空泵 | BSV60【油泵（可选配干泵）】 |
流量范围 | 0-200sccm |
PLC/HMI | 研成、汇川、台达、威纶通、工控一体机 |
气路元器件 | 亚德客、SMC |
传感器 | 欧姆龙、松下、国产优质品牌 |
设备尺寸 | 900L* 1120W*1600Hmm（不含三色灯） |
注意：腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。 |
