通过高频电源激发气体（如氩气、氧气、氮气等），使气体分子电离形成等离子体。这些等离子体中的活性粒子与材料表面发生反应，实现清洗、改性等处理。
1、多种气体可选2.腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。
设备参数：
宫格式真空等离子处理设备 PV-100L-MZ
输入电源/功率/频率
380V 3.5kw 50/60Hz
等离子发生器
2000W/40KHz
工作气体
AR.H2.O2.N2(多路气体可选）
气体通道
2路气体（可选配）
腔体尺寸
550*410*450mm（L*W*H内腔）
托盘层数
八宫格
有效处理面积
180*101*291mm*8（L*W*H）
真空泵
BSV60【油泵（可选配干泵）】
流量计
warwick 质量流量计
流量范围
0-200sccm
PLC/HMI
研成、汇川、台达、威纶通、工控一体机
气路元器件
亚德客、SMC
传感器
欧姆龙、松下、国产优质品牌
压缩空气压力
0.5~0.6Mpa
设备尺寸
960L* 1120W*1670Hmm(不含三色灯）
注意：腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。
