通过高频电源激发气体（如氩气、氧气、氮气等），使气体分子电离形成等离子体。这些等离子体中的活性粒子与材料表面发生反应，实现清洗、改性等处理。
1、多种气体可选2.腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。3.全自动操作，提升生产效率
设备参数：
在线式真空等离子处理设备 PV-4P
输入电源/功率/频率
380V 5kw 50/60Hz
等离子发生器
600W/13.56MHz
工作气体
AR.H2.O2.N2(多路气体可选）
气体通道
2路气体质量流量计
腔体体积
14L
腔体尺寸
540*320*70mm（L*W*H内腔）
有效处理面积
Max: 300*100mm (长*宽) Min : 150*40mm (长*宽)
真空泵
TVP干泵
流量计
warwick 质量流量计
流道数量
4通道（可定制）
流量范围
0-50sccm
产品/料盒
依客户产品尺寸
PLC/HMI
汇川、台达、威纶通、工控一体机
伺服系统
松下、汇川、三菱、鸣志
丝杆/模组
上银、TBI、国产优质
气路元器件
亚德克、SMC
传感器
欧姆龙、松下、国产优质品牌
UPH
350pcs-750pcs/H
设备尺寸
1800Lx1200Wx1750Hmm（不含三色灯）
注意：通道数量和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。
